欧兰公司双线路主站 燃烧流体测量设备分站

北京欧兰科技发展有限公司




Excimer Laser - PSX-100

世界上最小的准分子激光器

这一最新的准分子激光器,不仅结构紧凑、便携,而且脉冲能量可以达到mJ量级,脉冲宽度只有2.5ns,功率峰值超过2MW。

  • 集成在一个独立装置中
  • 空冷, 高峰值功率脉冲
  • 可忽略的反向剩余电流配有有效的放电电路
  • 长闸流管寿命
  • Halogen compatible construction for minimal repassivation

应用

  • 切割、消融和微加工
  • 半导体处理
  • 表面分析
  • 激光电离质谱分析
  • 荧光光谱
  • 光化学
  • Relaxation time studies
  • 非线性光学

F2

ArF

KrCl

KrF

XeCl

XeF


波长

157

193

222

248

308

351

nm

最大脉冲能量1

1.0

3.5

0.3

5.0

1.5

8.5

mJ

脉冲宽度

2.5 to 5.0 ns

最大功率峰值1

400

1400

120

2000

800

600

kW

最大平均功率2

50

300

20

400

150

100

mW


1 Measured at 15 Hz
2 Measured at maximum repetition rate

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